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根据提供的信息，清华大学对外国留学生的学费标准如下：
硕士生文科类专业学费为1.8万至3.0万元人民币/学年；
硕士生理工科类专业学费也为1.8万至3.0万元人民币/学年，具体费用可能根据专业的不同有所上浮。
此外，清华大学为外国留学生提供奖学金补贴，包括每年20.08万元人民币/人的奖学金补贴，这包括每年9.6万元的生活补助、一次性安置费、保险以及免费的往返机票。
请注意，这些信息可能会随着时间和政策的变化而有所调整，建议直接咨询清华大学获取最新的费用信息
